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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
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杨国梁,是中国人民解放军高级将领,上将军衔。河北遵化人。
1958年杨国梁从河北昌黎一中高中毕业,考入北京航空学院(今北京航空航天大学)学习,毕业后于1963年冬参军入伍,直接任命为军官,在国防科委第20试验训练基地(酒泉卫星发射中心)任参谋,后一直在酒泉卫星发射中心工作。1983年调任国防科工委第25试验训练基地(太原卫星发射中心)任副司令员,1985年初升任司令员,随即升任第二炮兵副司令员。1988年获少将军衔。1992年任第二炮兵司令员,1993年晋升中将。1998年晋升上将。2003年在担任了长达11年的第二炮兵司令员后退役,并担任第十届全国人大常委会委员、全国人大外事委员会副主任委员。2008年正式退休。
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黄金瀑布为典型的酸性矿山排水,水质酸碱值约为pH 3,可视为强酸,对皮肤有腐蚀性;此外,水体内含硫酸根、铁、铜、锌及具有毒性的砷,其中含砷浓度高达300ppb以上,远超过饮用标准 10ppb上限,因此周围立有标语警告游客切勿接触岩石、戏水、饮用。
开车或骑车可行驶台2线滨海公路,于78.5公里处右转北34县道(俗称金水公路),左转茹川桥,即可到达黄金瀑布,瀑布前方设有5个小型车停车位。
亦可搭乘「基隆客运台湾好行黄金福隆线856班次」、「基隆客运788班次(瑞芳火车站-福隆游客中心)」、「基隆客运788班次(基隆-水湳洞)」及假日行驶之「基隆客运826班次(猴硐-水湳洞)」,于站牌黄金瀑布站下车。Golden Waterfall
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