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更新于 2026-10-24

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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。

三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

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清水河,又名李依河、思览江,位于中国广西壮族自治区中部,是西江红水河段右岸支流,发源于上林县西燕镇大明山望兵山峰东北1.6千米,北流至西燕镇铁象屯附近折向东南,经东敢水库、西燕镇驻地和上林县城大丰镇,在大丰镇东南的皇主村下塘狂右纳亭亮河后转东北流,至上林县白圩镇赵村(原属覃排乡)折向东南,进入宾阳县,在宾阳县邹圩镇同礼村右纳南河后再次转东北流,进入来宾市兴宾区,于兴宾区迁江镇东注入红水河。河长187千米,平均比降0.93‰,流域面积4215平方千米。多年平均年径流量35.57亿立方米。流域内植被较好,水土流失少,枯水和平水期,河水清澈见底,含沙量小,故名“清水河”。

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正三角半偏方面体锥的外观就像是半个正三偏方面体和一个六角锥。

正三角帐塔的对偶多面体由三个筝形和6个等腰三角形组成。

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