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更新于 2026-10-21

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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布卢瓦的彼得(Petrus Blesensis; 1211)是一名中世纪法国僧侣、神学家、诗人、外交官。

他于1130年左右出生于来自布列塔尼的一个小贵族家庭,1140年代初,他在图尔大教堂接受教育,老师是哲学家Bernardus Silvestris。他可能还师从过索尔兹伯里的约翰,但此说不太可靠。

他后来进入博洛尼亚大学学习罗马法,师从后来的坎特伯雷大主教福尔德的鲍德温以及后来的教皇乌尔巴诺三世。1155年左右他前往巴黎学习神学,之后再巴黎待了11年。他的一些作品可能保存在《布兰诗歌》中。

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* tvN《吃草的声音3-大农远征队》、《会读心术的那小子》

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