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CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处（见上图），但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单，而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上，被称作终点检测，通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
在抛光工艺过程中，磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污，清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质，使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。
* 生产中间步骤中氧化层和金属间电介层的平面化
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星云中心的特写。创建者：NASA/ESA
南蟹状星云或Hen2-104从地球看是位于半人马座的一个星云，但与地球的距离实际上有数千光年。它的中心是一对由米拉变星和白矮星组成的共生变星。
南在此处是形容词，以与在北天金牛座的蟹状星云有所区分。从地球上看，这个星云像是螃蟹的身体和脚爪，也有些像沙漏。
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战争的发端是三十年战争时，和法国作战的西班牙帝国卡斯提尔驻军，因无视加泰隆尼亚的法律、骚扰农民等举动。再加上，西班牙王腓力四世为了对法作战，持续搾取加泰隆尼亚的资源、资产。1640年5月，加泰隆尼亚农民袭撃卡斯提尔驻军。6月7日，农民手持镰刀攻撃卡斯提尔军驻地。施行暴政的加泰隆尼亚副王在巴塞隆纳被捕并遭到杀害。之后，暴动的农民攻击都市，以卡斯提尔军为标的，并逐渐开始袭撃贵族、大地主。
1641年1月17日，加泰隆尼亚在法国的保护下宣布成立加泰隆尼亚共和国。1641年1月26日，加泰隆尼亚和法国的联军在蒙特惠克之战取得重要的军事胜利。但是，不久后情势转对加泰隆尼亚不利。
1648年，三十年战争终结，西伐利亚条约缔结后，加泰隆尼亚分成西班牙控制下的巴塞隆纳和法国占领下的佩皮尼昂两个对立的政府。1659年，庇里牛斯条约缔结，法国放弃加泰隆尼亚，但是获得鲁西永和塞达尼北半部。
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