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李调元,字化卿,河南汝宁府光州息县人,军籍。
治《春秋》,行一,正德十一年(1516年)河南乡试第四十六名举人,年三十二岁中式嘉靖二年(1523年)癸未科会试第二百九十二名,第三甲第九十八名进士。任嘉善县知县,父丧丁忧。服阕,补滑县,擢升户部主事,典浙江、湖广乡试、乙丑会试,称得人,奉命辽东、宣大犒边,称旨。又督德州粮储,卒于京师。
曾祖李仲良。祖父李洪,监生。父李瑶,寿官。母强氏。具庆下。弟调羹、调护。
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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。
在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。
因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。
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万历四十六年(1618年)戊午举人,天启五年(1625年)进士,选翰林院庶吉士。改礼科、兵科给事中。三殿大工成,上疏颂魏忠贤功德,并劾刘鸿训。崇祯帝即位,诛魏忠贤,李觉斯改户科,奏荐东林诸臣,疏参十孩儿、五虎、五彪,遂下倪文焕于狱。阁臣钱龙锡因辽东事论死,觉斯以国体为言,得减死为戎。迁应天府丞,转南京太仆寺卿。崇祯九年(1636年)正月,李自成部十余万攻滁州,李觉斯尽力固守获胜,留都不失。历升顺天府尹、工部侍郎、刑部尚书。崇祯十三年,以谳黄道周狱轻,遭严旨切责。削籍归。广州陷落,降清。张家玉起兵后,配合清兵攻灭之,并籍其家。卒年八十四。
有《晚翠居集》《伯铎疏草》《端明堂诗集》。
乾隆时,进士檀萃在《楚庭稗珠录》中写到:“(李觉斯)尚书以重臣遭国难,犹自怙其资,(张家玉)乞而不与,然后籍之,良不为过;乃恃前隙,反面倒戈,灭文烈之宗,真不齿人数矣!事具《明史》,岂可讳之?乃《广志》犹列(李)尚书于名臣传,与香山何相国一列褒之,载笔者伊谁,能无受金之疑乎?”
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