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更新于 2026-10-23

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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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* 叔丁醇(tert-丁醇;2-甲基-2-丙醇)

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郭文懿,中国隋朝人物。618年三月,隋炀帝死后,五月,越王杨侗称帝,以郭文懿为内史侍郎,与元文都、段达、王世充、皇甫无逸、卢楚、赵长文等辅佐幼主,号称七贵。他和元文都、卢楚、赵长文招抚李密攻打宇文化及,引起王世充的不满。元文都等人想除掉王世充,被段达告密。七月十五,王世充发难,兵攻入洛阳宫城,逮住躲在太官署得卢楚,命人将他乱刀砍死。再乱刀砍死在杨侗身边的元文都。中午,捕获郭文懿和赵长文,将他们也杀害。

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