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更新于 2026-10-07

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阇耶僧伽跋摩一世(阇耶僧伽跋摩占语名为Jaya Sinhavarman,又称释利阇耶僧伽跋摩一世,王号为Sinhavarmadeva Campapura Parameçvara),占婆第六王朝第二位君主。

阇耶僧伽跋摩一世原是占婆第六王朝君主因陀罗跋摩二世王后姊夫释利阇耶屈醯首罗(Çri Jaya Guheçvara)之子。在因陀罗跋摩二世死后,阇耶僧伽跋摩一世继承王位。据占婆的的梵文碑志所载,他定都于因陀罗补罗,以及建像为因陀罗跋摩二世夫妇祈福。

阇耶僧伽跋摩一世死后,第六王朝便被槟榔部落人物诃罗跋摩(Haravarman)建立的第七王朝取而代之。

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兰州,中国古代设置的一个州,治所在今甘肃省兰州市。

隋文帝开皇三年(583年),因金城郡城南有皋兰山,改金城郡为兰州,置兰州总管府,治所在子城县(后改为金城县、五泉县,今甘肃省兰州市)。大业三年(607年),改兰州为金城郡。管理今兰州市、临洮县等地。唐朝武德二年(619年)复置兰州。辖境相当于今兰州市附近。天宝、至德年间一度改为金城郡。宝应元年(762年),兰州被吐蕃所占。大中二年(848年),张义潮收复陇右十一州,不久又被党项族占据。

北宋元丰年间,恢复兰州,管理今兰州市、榆中县等地。元朝属于陕西行省。明代洪武年间为兰县。成化年间恢复兰州,不辖县,属于陕西承宣布政使司。兰州隶属临洮府,兰州卫属陕西都指挥使司。清朝康熙五年(1666年),陕甘分治,设甘肃行省,省会定于兰州,兰州自此成为甘肃的政治中心。乾隆三年(1738年),临洮府治由狄道移至兰州,改称兰州府;设皋兰县为治所,管理今兰州市、榆中县、临洮县、靖远县、渭源县、临夏市。

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CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。

20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。

化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。

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