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更新于 2026-10-07

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多晶硅是从硅烷(SiH4)沉积所得到的。使用以下反应:

这种反应通常使用低压化学气相沉积系统(LPCVD),使用单纯的硅烷或用70-80%的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间,压力为25~150帕斯卡的条件下,沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度,所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。

多晶硅的沉积可以和掺杂同时进行。即把磷,砷或者乙硼烷加入CVD反应腔。乙硼烷的会令增长率增加,但砷化氢和磷化氢会令沉积速度减小。

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芙蓉国会议席是马来西亚的国会下议院议席之一,选区位于森美兰州芙蓉县内,于1974年创设至今,国会选区编号为P128。目前其下有六个州议席,分别是良冷(N9)、汝来(N10)、罗白(N11)、沉香(N12)、小甘密(N13)和安邦岸(N14)。现任芙蓉国会议员为陆兆福,来自希望联盟民主行动党。

芙蓉国会议席于1974年马来西亚选举委员会重划选区时创立,其前身为芙蓉东区国会议席。自芙蓉国会议席创立以来,该选区由马华公会和民主行动党轮流当选,其中马华公会获胜5次,而民主行动党共在6次大选和1次补选中得胜。

在1974年大选时,行动党创始人兼全国主席曾敏兴在芙蓉国席对垒马华公会森州联委会主席王成就。曾敏兴与王成就曾于上届大选在芙蓉东区国席交手,最终曾敏兴以5,402张多数票当选。此届大选王成就卷土重来,再度挑战曾敏兴。在此前,王成就于1973年8月6日当选为马华公会副总会长,8月13日内阁进行改组后出任交通部副部长。王成就也曾任森美兰业务篮球总会会长、罪犯释放援助会主席、森州中华总商会董事等。在此届大选前不久,马来西亚与中国于1974年6月1日正式建交,王成就当时以马华公会代表身份随行首相访华考察,因此其声望甚高。尽管如此,王成就在此届大选依旧不敌曾敏兴,曾敏兴以3,339张多数票当选为芙蓉国会议员。1978年大选时,芙蓉国席的华裔选民占约63%。曾敏兴继续代表行动党上阵芙蓉国席,马华公会则委派新人颜光星对阵。颜光星当时为牙科医生,来自马六甲野新。最终曾敏兴成功以更大的差距,即8,073张多数票打败颜光星,蝉联芙蓉国会议员。

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