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更新于 2026-10-05

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氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别,采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

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* 整编第41旅:1946年12月,徐州绥靖公署把整编第26师第41旅调归整编第69师。旅长董继陶。宿北战役中,叶飞的第一纵队第3旅第8、第9团及第1旅第2团一个营进攻在苗庄的整41旅。整41旅派出2个连佯装主力向南突围,第3旅旅长刘亨云派遣预备队第8团去拦截,结果董继陶率整41旅主力向北突围破防。山东野战军战斗总结称:“在围攻敌人部署上,对打敌突围部署堵截不周密,致苗庄敌四一旅大部(二千人)突围,窜扰我之后方,幸尔后各方派队(各直属队人员均参加)追击截击,始将突围敌大部歼俘,四一旅旅长董继陶亦被乱枪中击毙,但亦逃窜一部(三百余)”。《绥靖纪实》:“坚守苗庄、蔡庄之四十一旅,由空军掩护向匪后攻击,初占乔北镇,继破新店子、陈子岗间之匪阵,傍晚,进至皂河镇,旅长董继陶负伤”。“整四十一旅依欺骗先向匪后突围,继而转向宿迁转进,突围成功,损失约二分之一”。

* 预备第3旅:1946年12月,徐州绥靖公署把整编第57师预备第3旅调归整编第69师。旅长魏人鉴少将(黄埔军校第四期经理科)和副旅长周昭宝少将1946年12月18日宿北战役突围阵亡。

* 第268师:1948年10月参加郑州战役被歼。1949年2月在长江江防时重建。1949年4月渡江战役被歼灭。

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嘉靖九年(1530年),掌上林苑海子关防。

嘉靖十一年(1532年),提督礼仪房和浣衣局,提督尚衣监西直房。

嘉靖十三年(1534年),总提督内西教场操练并都知监。

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