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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种，既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料，并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起，而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动（通常是以相反的方向转），但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去，从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能，从而能够提高集成度。
化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。
氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
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1919年出生于卡卢加省。1941年加入联共（布）。
1936年8月参加红军。1938年毕业于卡恰军事航空学校。1939年至1940年参加苏芬战争。1941年6月22日德国进攻苏联，基尔萨诺夫在第一时间奔赴前线作战。在一次护卫轰炸机任务中，由于天气原因和指挥失误，造成轰炸机在涅瓦河附近因燃料耗尽而坠毁，六名队友牺牲。他从中队长被降职为普通飞行员。
此后，历任航空战斗机第153团飞行员、副中队长、中队长。1943年1月至1945年，任前线航空战斗机战术指导员。战争中共完成323次作战任务，在空战中单独击落8架敌机，与队友一起击落6架。（另有来源指出6次个人和3次团体战绩）
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马其顿人（西里尔字母：Македонци，拉丁字母：Makedonci），也称马其顿斯拉夫人，指的是主要居住在北马其顿的一支南斯拉夫人。有观点认为马其顿人和保加利亚人实际上是同一民族。马其顿人以马其顿语为母语，总人口在200万到250万之间。其中三分之二生活在北马其顿，但在其他国家也有分布，其中以塞尔维亚、保加利亚、阿尔巴尼亚、希腊、美国、加拿大、澳大利亚、德国、瑞士、意大利较多。保加利亚不承认其国内的马其顿人是单独民族，将其视为保加利亚人的一部分。
现代的马其顿人，实际上是公元6世纪、7世纪定居于巴尔干半岛的斯拉夫人的一支，与上古的马其顿王国无关。马其顿人在征服当地原始部落并同化后，曾先后被拜占庭、保加利亚、土耳其统治，后被塞尔维亚统治。在南斯拉夫时期，铁托将此地区从塞尔维亚划出成立马其顿共和国，才有了马其顿人这一现代名称。
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