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更新于 2026-10-05

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化学机械平坦化 (Chemical-Mechanical Planarization, CMP),又称化学机械研磨(Chemical-Mechanical Polishing),是半导体器件制造工艺中的一种技术,使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。

CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。

20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。

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* **李氏,嫁左拾遗、太常博士、尚书郎樊定纪

* *门下侍郎、同中书门下平章事、检校尚书左仆射、兼太子少师分司东都、荥阳郡开国公,赠太子太保李夷简,字易之

* 金明县主,嫁唐右卫中郎、东宫率、右卫大将军、金紫光禄大夫、平氏县开国公罗俨,生女罗四无量,嫁武周地官官员刘某

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胡斯托谢拉街71号犹太会堂(Sinagoga Histórica Justo Sierra 71,又名Synaguoge Nidjei Israel),是墨西哥城历史中心一个古老的阿什肯纳兹犹太人犹太会堂。 这座建筑既是一座犹太会堂,又是墨西哥城历史中心犹太社区的文化中心。它建于1941年。

这个宗教场所是为拉梅赛德(La Merced)街区来自波兰、俄罗斯和立陶宛的犹太教正统派移民而建。这是墨西哥城的第二座阿什肯纳兹犹太人犹太会堂。

建筑师拉克尔·富兰克林声称,这座建筑的妥拉柜的设计受到了立陶宛希奥利艾犹太会堂的影响。

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