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更新于 2026-10-26

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福兴,是台湾台中市大安区的一个传统地域名称,位于该区中部偏东南。相较于今日行政区,其范围大致为中庄里东南部、东安里东北部凸出部分的东大半部、福兴里兴安路以南部分。

台湾清治末期,福兴地区为一街庄,称为「福兴庄」,隶属于苗栗三堡。该庄西北与三块厝庄、北及东北与牛埔庄为邻,东南边为后厝仔庄,西南边为东势尾庄、中庄。

1901年(日明治三十四年)11月,全台废县厅改设二十厅,该庄隶属于苗栗厅。1903年(明治三十六年)6月,该庄编入「十八庄区」,仍隶属于苗栗厅。1909年(明治四十二年)10月,全台二十厅合并为十二厅,苗栗厅废止,十八庄区改隶属于台中厅。1920年(大正九年),全台地方制度大改正,该庄改制为「福兴」大字,隶属于台中州大甲郡大安庄。

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列星顿和康科德战役源于英国的一次军事行动。北美英军总司令托马士·盖奇将军下令派军到康科德,缴收当地火药及武器,并缉捕起义首领约翰·汉考克及塞缪尔·亚当斯。然而由于行动计划事泄,使起义民兵有所提防。后来,英军启程前往康科德,于途经列星顿时遭遇民兵,双方擦枪走火。民兵败逃后,英军继续西进,并成功进入康科德,但部份英军在北桥遭遇前来增援的民兵。双方再一次意外走火,但英军因战术失误而溃败后撤。当英军沿旧路返回时,不断遭到增援的急召民兵狙击。英军返抵波士顿以北的查尔斯镇后,民兵开始围攻波士顿。战后召开的第二届大陆会议,议决以武力维护殖民者的自由,在一年后终于走上独立建国之路。

英国国会通过《强制法案》后,美州殖民地与英国政府之间的关系日益恶化,其中以波士顿地区的反抗最为严重。1774年9月,北美英军总司令托马士·盖奇收缴一座并非属于起义者的仓库火药,竟在波士顿外引发战争恐慌,视为火药危机。第一次大陆会议恰好在火药危机后数日召开,会后十二州与会者(佐治亚州未有派员出席)通过决议案,指斥《强制法案》违反英国宪法,鼓吹殖民地中止对英贸易,为麻萨诸塞成立新自治政府,并联署要求大不列颠国王兼爱尔兰国王乔治三世结束封锁波士顿,修正国会殖民政策。叛逆者在同年10月于波士顿西郊康科德成立麻省地区议会(Massachusetts Provincial Congress),由约翰·汉考克出任议会主席,成为麻萨诸塞事实上的有效政府。盖奇的有效管辖范围仅限于波士顿一地。

面对殖民地公然违抗英国权威,英国政界的反应各有不同。盖奇因著自身的信念与职责冲突而摇摆不定。他在美州已定居超过二十年,妻子也是于美州成长的殖民者。身为麻萨诸塞总督,盖奇对殖民者争取自由深感同情,并未以武力取缔自由之子等革命组织;然而同时身兼北美英军总司令,盖奇又有责任落实国会通过的《强制法案》以及镇压指令。英国下议院议员埃德蒙·伯克形容盖奇的职责矛盾,犹如「要一个英国绅士去说服另一个英国绅士支持奴隶制度,根本所托非人」。前首相老皮特也主张国会稍作让步,建议把盖奇及其驻军调离波士顿,并限制国会向殖民地的征税权。不过国会最终选择了诺斯勋爵主张的强硬手段,以恢复英国统治权威。1775年2月9日,国会宣布麻萨诸塞为叛乱状态,准许盖奇以武力恢复正常管治,并指令派军缉拿汉考克及塞缪尔·亚当斯等叛党首脑。指令经殖民地事务大臣(Secretary of State for the Colonies)达特茅斯伯爵(William Legge, 2nd Earl of Dartmouth)送出,在4月14日为盖奇收悉。

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CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。

在抛光工艺过程中,磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污,清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质,使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。

* 生产中间步骤中氧化层和金属间电介层的平面化

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