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更新于 2026-10-05

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20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。

化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。

化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。

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相关阅读:化学机械平坦化

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塔斯曼尼亚鸸鹋(Dromaius novaehollandiae diemenensis)是塔斯曼尼亚一种已灭绝的鸸鹋亚种。牠们与其他岛上的鸸鹋(如王岛鸸鹋及袋鼠岛鸸鹋)不同,有足够的数量,并没有小群族的影响。故此,塔斯曼尼亚鸸鹋并没有成为一个独立的物种,而其亚种的地位亦受人所质疑,因其大小与外观在一些主岛鸟类也可见到。现时只余下牠们的亚化石骨头,而其标本已经遗失。

塔斯曼尼亚鸸鹋因被当作是害虫而被猎杀。再者,放火清除草原或丛林作为农地亦破坏了牠们的栖息地。大英博物馆于1838年接收了两个标本。在牠们灭绝后,就引入了主岛的鸟类,故相信牠们约于1850年消失。于1865年的观察报告及1873年饲养下死亡的报告都未能确实是塔斯曼尼亚鸸鹋。另外于法兰克福的标本则并非塔斯曼尼亚鸸鹋。

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相关阅读:塔斯曼尼亚鸸鹋

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多尿症(英文:Polyuria)是指在一定时间内,所排出的尿量比普通人高。

如果饮水量为2000毫升,正常人的尿量介于800毫升-2000毫升。

如果所排出的尿量在一天内高于2500毫升,便是多尿症。

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相关阅读:多尿症