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* 混合物理化学气相沉积(Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition,HPCVD):一种气相沉积技术,包含化学分解前驱气体及蒸发固体源两种技术。
* 快速热化学气相沉积(Rapid thermal CVD, RTCVD):使用加热灯或其他方法快速加热晶圆。只对基底加热,而不是气体或腔壁。可以减少不必要的气相反应,以免产生不必要的粒子。
* 气相外延(Vapor phase epitaxy, VPE)
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弘治十一年(1498年),戊午科乡试中举。正德十二年(1517年)授吏部司务,嘉靖二年(1523年)担任礼部祠祭司署员外郎,参与大礼议,五年(1526年)升礼部主客司郎中。嘉靖八年(1529年),担任广东右参议,分守惠潮。十年因母年八十,乞归养致仕,二十九年七月十六日卒,享年七十四岁。
高祖翁时敬。曾祖翁龄,赠乌程县知县。龄生三子,长子翁经,登景泰甲戌进士,官曲靖知府,为翁磐祖父。父翁士章,赠礼部主客司郎中。母许氏,封太宜人。娶欧阳氏,封宜人,生一子全甫,早卒;继娶牛氏,生子翁辰孙,郡庠生。
* 熊过《明朝列大夫广东布政使司右参议白洞翁公墓志铭》
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