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在经过长达10年的计划，讨论，投票后，1901年1月1日组成了第一个隶属于英国的澳洲联邦（Commonwealth of Australia）。

1901年1月1日，几个英国的殖民地组成了第一个隶属于英国的澳洲联邦（Commonwealth of Australia），白澳政策及移民限制法被通过。1914年至1918年，澳洲参与第一次世界大战。1920年，澳洲航空公司（Qantas）国内航线成立。1921年，伊迪斯科文（Edith Dircksey Cowan）成为澳洲首位女性国会议员。1927年前，澳大利亚的首都是墨尔本。

1927年，墨尔本与悉尼相争首都地位，经协议后迁往折衷点堪培拉。同年，第一次澳洲联邦会议于坎培拉临时国会大厦举行。

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在直流溅射中，在靶和待涂覆的基板之间施加几百伏的直流电压，因此它也被称为直流电压溅射。

靶形成负电极，基板形成带正电电极。通过使用（例如，作为稀有气体的原子碰撞电离氩气）形成在一个气体空间的等离子体（氩低压等离子体），带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件，或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射，直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时，通过动量传递从目标喷射粒子，该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积（沉积）。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料，将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电，因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程，因为随后的离子将被电击穿。另外，可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低，因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

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