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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。
三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。
在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。
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1997年劲歌金曲第三季季选是1997年十大劲歌金曲颁奖典礼第三个季选,季选歌曲会自动成为年尾举行的十大劲歌金曲颁奖典礼的候选金曲,在清水湾半岛电视城举行。
* 本季选亦是香港回归后第一个劲歌金曲季选。
* 本季选以特别方式请知名艺人公布季选得奖歌曲。
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古谷弘(8月23日)是一位日本经济学家。
1920年出生于日本静冈县,1942年毕业于东京大学经济学部,师从东畑精一,1945年留校任教,1952年赴美留学进入哈佛大学,1956年升任东京大学经济学部教授,1957年在伊豆半岛今井浜游泳时因心脏麻痹去世,追赠正五位,勋六等授瑞宝章。
* 『现代経済学』(弘文堂、1957年)
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