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更新于 2026-10-07

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云仙散录又称云仙杂记,陈振孙《直斋书录解题》著录一卷,现有十卷。作者自称是冯贽,作者在序言中自称写成于天祐元年(907年),但是在序文末的纪年为天复元年(901年)。不过书中又援引宋人的著作。洪迈在《容斋随笔》中认为该书是有人以冯贽的名义写成的著作。张邦基在《墨庄漫录》中认为该书是宋朝王铚的伪作。该书内容庞杂,看似是作者在读书时摘录他书字句写成,而且每一条的下面都注明所引书目。前八卷所引书目很多不见于历代史志,不过后二卷所引书目比较常见。

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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