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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
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可变权益实体(英:variable interest entity, VIE)是美国财务会计标准委员会(FASB)在其颁布的FIN 46中制定的一个术语。投资人如果拥有对某一实体的控制股权,且这一控制股权并非借由多数投票而获得,那么相应的这样的实体(即投资标的)则被称为可变权益实体。VIE的概念与Special purpose entity紧密相关。这个术语概念的重要性在于,如果某个公司是一个VIE的主要受益人,那么该公司在提交报表的时候必须将该VIE整合进报表中。
注:FASB在发布第167条解释时,第46号修订案以及第46号修订案(修改版)中对VIE的指导性描述已经有了更改。
根据FASB ASC 810-10,即原第46号修订案(修改版),当某个实体符合下列三条标准中任一条时,可被认定为VIE。
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* 1915年10月30日 - 作为大汤铁道车站开业。
* 1922年12月1日 - 大汤铁道国有化。
* 1987年4月1日 - 国铁分割民营化后成为JR九州车站。
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