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波多野结衣电影访问入口使用体验
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能量散射X射线谱(Energy-dispersive X-ray spectroscopy,英文缩写有EDS、EDX、EDXS或XEDS),有时也被称作能量散射X射线分析(energy dispersive X-ray analysis,EDXA)或能量散射X射线微量分析(energy dispersive X-ray microanalysis,EDXMA)是一种用于元素分析和化学表征的分析手段。该手段通过收集X射线机或其他X射线源产生的X射线和样品相互作用时发出的X射线进行分析。由于不同元素因原子结构不同而发射谱各异,所以可以通过分析X射线谱分辨样品所含的不同成分。
激发出样品的特征X射线一般需要能量很高的电子束、质子束或X射线。首先,入射的电子(或质子、光子)激发出基态原子的内层电子。内层电子在离开原子后会留下空穴。外层的、处于较高能级的电子在填充这些低能级空穴的时候,多余能量可能会以X射线形式放出。能量散射X射线谱仪收集测量的就是这些X射线的能量和强度。由于这些X射线的能量分布可以反映特定元素的原子特征,能量散射X射线谱可被用于测定样品中的元素组成。
电子束激发源被用于电子显微镜、扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜中,而X射线激发源被用于X射线荧光光谱仪中。X射线探测器可将X射线能量转换为电信号;信号随后被发送至脉冲处理器进行测量并传送到分析仪进行分析。过去最常见的探测器是硅锂(SiLi)探测器,需要用液氮冷却才能工作。如今的新系统常配置silicon drift detectors,计数速度更快,且仅需在热电冷却(甚至于室温)下就可以工作。
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