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更新于 2026-10-05

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氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别,采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

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tiáo溪站是杭州地铁在建中的19号线起点站、与仓前车辆基地的接轨站,位于余杭区仓前街道现状龙大线与鲁凌线交叉口,车站呈南北向布置。

本站未来规划与地铁12号线、杭安线换乘。

本站为地下两层岛式车站,其中地下一层为站厅层,地下二层为站台层,站台宽度为12.6m。车站主体长513m,宽21.7~36.6m,车站覆土3.5m。车站标准段为双柱三跨箱形框架结构,局部为三柱四跨箱形框架结构。底板埋深约17.5m。主体围护采用地下连续墙,车站侧墙采用复合墙形式,车站附属均采用明挖法施工。本站小里程端预留有正线延伸条件。

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雷根氏针鲬,又称雷氏棘鲬,为辐鳍鱼纲鲉形目牛尾鱼亚目针鲬科的其中一种。

本鱼分布在印度西太平洋区,包括马来西亚、印尼、台湾、日本、中国、澳洲北部等海域。

本鱼体细长,头部与身体前半部较平扁,头部及背部均被硬质骨板。腹部、胸部裸出无骨板或鳞片,侧线完整,体呈褐色。背鳍2枚,第二背鳍较大,第一背鳍小型。第一背鳍硬棘6枚,第二背鳍软条15枚,臀鳍软条17枚,体长可达25公分。

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