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更新于 2026-10-06

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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宫田一郎(みやた いちろう)(早期台湾翻译名称:田一郎)

日文配音员:关智一、田野惠〈幼少期〉/桧山修之、熊井统子〈幼少期〉(广播剧CD);台湾配音员:吴东原(第1、2季)→陈余宽(第3季)

外号「雷神」,擅长和父亲一样的反击拳。东洋太平洋羽量级冠军,为了继承父亲的意志,从小就接受拳击训练,在与一步的练习赛中输了之后,为了在正式比赛再次和一步交手,移籍到了川原拳馆,是一步的劲敌。

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独立发电厂(Independent Power Producer,简称IPP),又称为非公用事业发电厂(Non-utility generator,简称NUG),是指非由综合电业公司经营、或不属公用事业的发电厂。在Electric power industry中,分为发电、输电、配电三部分;若一家电力公司经营业务包含这三部分,则称之为综合电业公司,相对若只有经营发电业务,则称之为独立发电厂或简称为IPP。

在台湾,由于综合电业公司没有开放民营,只有一家国营的台湾电力公司,而独立发电厂开放民间设立,因此IPP通常都是指民营电厂。

在美国,IPP也可以指「非公用事业发电厂」,这两个词是可互换的。NUG是指不需负担公用事业的部分,也就是说它不一定要卖电给向它申请用电的用户。NUG可以是民营电厂。在1987年美国实施《公用事业管制政策法》(PURPA, Public Utility Regulatory Policies Act)以前,NUG并不多。在PURPA第210节规定综合电业公司向NUG购买电力,让NUG有足够的获利。

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