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更新于 2026-10-05

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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路德维希瓷器馆(Sammlung Ludwig Bamberg) 位于雷格尼茨河中间的老市政厅 (班贝格) 。

由商人彼得·路德维希(Peter Ludwig, 1925 - 1996)夫妇委托于1995年建立。彼得与他的夫人伊蕾娜·路德维希(Irene Ludwig, 1927 - 2010)的一生致力收藏艺术品及工艺品,从古希腊、古罗马的雕塑和中国古代的陶瓷,都属于路德维希夫妇的收藏范围。不断地无条件的把艺术品放到世界各地的美术馆内,与大众分享。

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