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更新于 2026-10-21

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* 王晓萍 (哈尔滨学者),现任哈尔滨师范大学生物工程与技术系遗传教研室副教授。

* 王晓萍 (1962年),西安文理学院副院长、九三学社陕西省副主委,第十三届全国政协委员

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使用直拉法工艺制备单晶硅时,常用石英(主要成分为二氧化硅)坩埚作为器皿。这样做的一个不可避免的结果,就是器皿本身因为高温加热,将发生热分解,导致熔融状态硅中混入氧,其浓度的典型数量级为1018cm-3。氧杂质将带来一些好处。严格的退火工艺可以使氧沉淀下来。这些氧可以俘获半导体材料中不必要的过渡金属。除此之外,氧杂质还能够改善硅晶圆的机械强度,因为它能够固定制备流程中被引入的位错。1990年代,高浓度氧被发现能够在硅材料粒子探测器(例如欧洲核子研究组织中的大型强子对撞机项目)中用于辐射加固。因此,用这样的硅制成的辐射探测器,是将来进行高能粒子实验的理想设备。在后期的退火过程中,硅中的氧杂质也能俘获其他不必要的杂质。

然而,氧杂质能够在光照环境中与硼发生反应,这与太阳能电池的情况类似。这将形成电活跃的硼-氧络合物。

通过考虑偏析系数,可以获得固态晶体中的杂质浓度。

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FEICOM为喀麦隆国家出资的基金会,管理体系依据国家法律和行政命令确立,详情如下:

FEICOM最高决策机构为董事会,其董事会由如下人员组成:

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