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* 袁枚(1716年—1798年),浙江人,宦旅江苏金陵。
* 蒋士铨(1725年—1785年),江西人。江西古称江右,故有此称。
* 赵翼(1727年—1814年),江苏常熟府阳湖县人。
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* 弗拉基米尔·莫诺马赫大公逝世,基辅大公的公位由其长子姆斯季斯拉夫·弗拉基米罗维奇继承,基辅罗斯在内忧外患侵扰下,逐渐衰弱。
* 尤里·多尔戈鲁基决定将他统治的大公国的首都从罗斯托夫迁往苏兹达尔。
* 11月13日——陆游,南宋诗人(逝世1210年,85岁)
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CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
在抛光工艺过程中,磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污,清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质,使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。
* 生产中间步骤中氧化层和金属间电介层的平面化
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