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金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物，研磨材料主要是石英，二氧化铝和氧化铈，其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择，这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应，弱化其和硅分子联结，这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

抛光垫通常使用聚亚胺脂（Polyurethane）材料制造，又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫，利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性，表面有特殊之沟槽，提高抛光的均匀性，垫上有时开有可视窗，便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材，一个抛光垫虽不与晶圆直接接触，但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下，目前主要生产厂商为陶氏化学集团（DOW CHEMICALS）及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。

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于嶋为关东管领・古河公方家的分家小弓公方的血继名门的小姐，是秀吉侧室中身分地位出身最高的一位。于嶋的最初丈夫为塩谷惟久，与于嶋的喜连川家同为源义家的血脉、源赖朝后代。为领有塩谷郡二万石领地名家所出。

天正18年（1590年），小田原之役后，要对奥州实施奥州仕置的秀吉朝古河进军，于嶋的丈夫惟久丢下妻子便逃亡了。被丈夫抛下后的于嶋后会见了秀吉，成为了秀吉的侧室。

于嶋为其夫的塩谷家实家请求秀吉的宽恕。于嶋的弟弟足利义明之孙足利国朝后来与古河公方家的义明之女足利氏姬结婚，天正10年（1582年）足利义氏死去，实质的血脉断绝而后至镰仓幕府系足利氏复兴事情破灭、后来秀吉送给于嶋喜连川3800石的化粧领地, 在当初为名门出身的于嶋是个大改变，也有著期待于嶋能生下亲生血脉一说的传言。

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