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扒开让我真入每周更新

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更新于 2026-10-05

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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* 胡国烽先生(不早于1988年-1992年,末任校长,后改任上午校及全日制首任校长)

* 胡国烽先生(1997年-2003年,全日制第一任校长,由石篱宣道小学过渡)

* 张景苏先生(2003年-2009年,全日制第二任校长)

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华台吉率领右翼巴苏特卫新,是后世的鄂尔多斯右翼前旗始祖。驻牧于榆林以西边外(今内蒙古自治区乌审旗一带)与花马池一带。

* 打儿汗把都儿台吉(鄂勒哲伊勒都齐达尔罕巴图尔)

清代的伊克昭盟盟长喇什色楞、巴达尔呼、察克都尔色楞是他的后裔。

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