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更新于 2026-10-22

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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。

CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。

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相关阅读:化学机械平坦化

桃花视频相声常见问题汇总

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雕具座α A是个恒星分类F2V的F型主序星,视星等4.46。它有1.48太阳质量和1.55倍太阳半径。该星赤道的投影自转速度为47.8km/s。它是个疑似的盾牌座δ型变星。

伴星是个恒星分类M0.5V的红矮星。它是个耀星,表现出随机的亮度增加。该星目前距离主星6.6弧秒,估计轨道半长轴为206天文单位。

雕具座α距离地球65.7光年,估计年龄9亿年。它以平均距离8kpc和轨道偏心率0.07环绕银河系中心。轨道相当靠近银河盘面,该系统距离盘面不超过0.05kpc。雕具座α可能是大熊座移动星群的成员,一群有着相似动态的恒星,可能源自于同个星团。

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相关阅读:雕具座α

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朱子森Zhu,出生于辽宁省沈阳市,足球运动员。司职守门员 。目前效力于中甲球队武汉卓尔。

朱子森出道于武汉卓尔队。2009年11月28日,朱子森在与湖南湘涛的中乙总决赛上完成了在球队的首秀。2013年加盟湖北华凯尔队(现新疆天山雪豹队),成为球队主力门将,三个赛季代表球队出场66次,发挥十分稳定。2016赛季他加盟河北精英队,代表球队出场五次。2017年1月21日,中甲武汉卓尔官方宣布与朱子森签约,代表武汉卓尔参加2017年中甲预备队联赛。

朱子森的双胞胎兄弟朱子林也是一名职业足球守门员。2017年9月17日中甲预备队联赛武汉卓尔对阵呼和浩特中优的比赛中,兄弟俩分别代表各自球队出场。

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