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抛光垫通常使用聚亚胺脂（Polyurethane）材料制造，又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫，利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性，表面有特殊之沟槽，提高抛光的均匀性，垫上有时开有可视窗，便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材，一个抛光垫虽不与晶圆直接接触，但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下，目前主要生产厂商为陶氏化学集团（DOW CHEMICALS）及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。

CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处（见上图），但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单，而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上，被称作终点检测，通常有电机电流终点检测、光学终点检测。

在抛光工艺过程中，磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污，清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质，使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。

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坎西瓦桑（Quincy-Voisins，LL-Q150 (fra)-Xenophôn-Quincy-Voisins -.wav）是法国塞纳-马恩省的一个市镇，属于莫城区。

坎西瓦桑（P625）面积P2046，位于法国法兰西岛大区塞纳-马恩省，该省份为法国北部内陆省份，北起瓦兹省，西接埃松省、马恩河谷省、塞纳-圣但尼省和瓦兹河谷省，南至卢瓦雷省，东南接约讷省，东临马恩省和奥布省，东北接埃纳省。

与坎西瓦桑接壤的市镇（或旧市镇、城区）包括：P47。

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陈楚蕙，，原名陈玉珍，香港出生，祖籍广东普宁。潮剧演员。最初在香港新天彩潮剧团工作，1956年底首次登台表演。曾做过戏剧电影的配音，主要将任剑辉、罗剑郎以及林家声等人参演的粤剧电影配为潮剧电影，再卖到东南亚等地播放。在1960年，她出演的潮剧电影《后母心》和《女状元》一炮走红后，拍摄了百多部潮剧电影。1990年8月间，陈楚蕙成立了香港楚蕙潮剧团。

2012年10月23日，陈楚蕙离世，享年69岁，并于11月9日出殡。

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