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1958年，为了配合研制109乙机的需要，物理所半导体室组建了一个附属工厂——109厂，专门生产109机所需的二极管，这是我国最早的晶体管生产厂。建厂初期，半导体室的科研人员亲自到厂里指导工人操作。受到当时条件的限制，工厂的主要操作都由手工完成，因此能够供应的晶体管很少。到1959年2月，共生产六千余只晶体管，其中封装好的一千余只。到1963年底，109厂才生产出109乙机所需的全部锗晶体管。
1959年5月，物理所开始了把半导体研究室扩建为半导体研究所的准备工作。成立了办公、后勤机构，将物理所图书馆有关半导体的书籍分拣出来，成立了“半导体图书馆”，并在中关村建设半导体研究所的新楼。但后来新楼建成，又改由物理所占用，半导体所留在物理所原址——大取灯胡同9号。
1960年9月6日，半导体所正式成立。首任所长为宋之春，王守武任主管业务的副所长。1961年宋之春调往新疆科委，杨刚毅（力学所副所长）代理所长到1962年，刘再生自山东科委调任半导体所所长。建所时，所内共有正副研究员6人，正研究员是王守武、林兰英，副研究员是成众志、汤定元、兰继喜和王守觉。当时半导体所共设五个研究室：
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* 上磺溪桥：位于该溪之上的桥梁，于新北市金山区境内。
* 磺溪 (台北市)：又称南磺溪，指位于台北市北投区、士林区的一条河流，注入基隆河的支流外双溪。
* 磺溪桥：位于该溪之上的桥梁，于士林北投交界的天母西路上。
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混合物中各组分的质量浓度的和等于混合物的密度
此处 是该组分自身的密度， 是该组分混合之前所占的体积。
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