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更新于 2026-10-27

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* 1891年4月1日 - 伊兴村从渊江村分村。(1町9村)

* 1928年2月10日 - 西新井村改制为西新井町。(2町8村)

* 1928年11月1日 - 梅岛村改制为梅岛町。(3町7村)

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* 列车整体设计: 中车南京浦镇车辆有限公司

* 外观特征:列车采用鼓形车体设计,以黑、白、土黄为主色调,与3号线列车涂装相似,但颜色更深;车头和侧边均以大面积黄色涂装为底,车顶、窗框和门框周围为黑色。

* 列车编组:6节A型编组(4M2T,Tc+Mp+M+M+Mp+Tc)

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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。

CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。

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