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善良的嫂子32160p专栏

更新于 2026-10-06

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压电换能器是应用最为广泛的一种声电转换元件,它的最简单形式就是一个两面镀有电极的、圆形或方形的压电陶瓷薄片。当把一定频率和功率的交流信号加到两个电极上时以后,压电陶瓷片的厚度随着交变电场而变化,此时相对于外部介质而言就是一个活塞振动的简单声源。由于其结构简单,易于成形和加工,广泛应用于医学超声探头、工业无损检测的超声探头当中。厚度振动压电换能器,基于板的厚度伸缩振动模式,在超声检测、超声诊断等领域广泛应用。压电陶瓷材料的不足之处在于脆性大、抗张强度低、大面积成型困难以及超薄高频换能器不易加工。这一方面压电薄膜如PVDF比压电陶瓷较有优势。

微机械超声换能器(Micromachined Ultrasonic Transducer, MUT)是基于薄板翘曲振动的换能器,根据驱动机制的不同,分为压电式微机械超声换能器(piezoelectric-MUT, pMUT),与电容式微机械超声换能器(capacitive-MUT, cMUT)453。因为微机械超声换能器通过MEMS工艺制备,从而与集成电路有较大的工艺兼容性,因而是微型化超声系统最佳的实现方案,可以实现大规模的制备和封装,应用在指纹识别、空气测距、导管超声及便携式超声等领域。

叉指换能器(Interdigital Transducer, IDT)是在压电基片上用真空蒸发淀积一层金属薄膜,再用光刻方法得到两个互相间隔形似叉指的梳形电极,制成用来激发和接收声表面波的换能器。IDT电声转换损耗低,设计灵活且制造工艺简单,容易工作在0.5-3 GHz的频率范围内,已成为激发与检测声表面波的主要技术,成为声表面波器件和传感器的基本组成部分,得到广泛应用307。

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