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CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。
20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。
化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。
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起初,老底嘉并不是一个重要的地方,但她很快就达到了高度的繁荣。在公元前220年,她的国王是阿凯夫斯。公元前188年,城市由帕加马王国管治,直至前133年改由罗马统治。在罗马共和国与本都爆发米特里达梯战争期间,老底嘉受到严重的破坏,但在罗马统治下很快得到恢复。在共和国结束和罗马帝国开始的时候,老底嘉因其位置于贸易路线上而获益,成为安纳托利亚其中一个繁荣的商业城市。
另外,老底嘉亦时常受到地震破坏,尤其是在公元60年尼禄统治时所发生的一场巨大震荡,使整座城市遭到毁灭。然而当地居民反对帝国的援助来重建城市,并以自己的财富修复出一座带有古希腊艺术风情的城市,现今在其遗址仍显然易见。老底嘉的居民亦以漂亮的纪念碑装饰城市。
拜占庭时期,帝国的作者经常提起老底嘉,尤以科穆宁王朝时期为甚。在1119年,约翰二世·科穆宁和他领导的军队从塞尔柱土耳其人手中夺回该城。虽然曼努埃尔一世加强了城市的防御,但老底嘉仍在随后因为土耳其人和蒙古人的入侵而遭到毁灭,今只剩颓垣。
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嘉玛道理会(Ordo Camaldulensium,英语:Camaldolese)包括男女两个修会,由意大利修士圣罗慕铎(Romuald,951-1025/27)创建于大约1012年。修士们住在单独的房间里,但每天共同生活。修会于1072年得到教宗亚历山大二世的批准。
会名源自于意大利中部托斯卡纳大区阿雷佐省市镇波皮山上的卡马尔多利区(Camaldoli),那里的隐修院(Sacro Eremo)是修会的发祥地和总部。
意大利各地都有嘉玛道理会的隐修院和修道院。该修会在佛罗伦萨建立的修道院,以出产高品质的羊皮纸手稿而著称,现在只有天神之后堂(Santa Maria degli Angeli)仍在使用。该修会在波兰克拉科夫和美国加州伯克利也建有著名的修道院。
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