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更新于 2026-10-05

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氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别,采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

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净土寺位于中国山西省朔州市应县城内,2006年被列为第六批全国重点文物保护单位。

净土寺始建于金天会二年(1124年),大定二十四年(1184年)重修。寺坐北朝南,现仅存大雄宝殿和西配殿。大雄宝殿为金代原构,面阔进深各三间,单檐歇山顶,殿内天花藻井和天宫楼阁是小木作的经典之作。

在明代,净土寺曾经经历了三次的大修,分别在大明景泰年间、大明成化年间和大明崇祯年间。在大雄宝殿的三根梁柱上有相关重修的记录。

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小珊瑚岛(เกาะล้าน)是一个位于暹罗湾附属海湾曼谷湾中的岛屿。

小珊瑚岛是泰国近岛群岛中最大的岛屿,其位于芭达雅的南方、曼谷湾的东南方、暹罗湾的东部。在行政区划上,小珊瑚岛隶属于春武里府邦拉蒙县盐田镇(อักษรนาเกลือ)。

小珊瑚岛距离海岸约8公里,岛屿直径为4公里。该岛属于高岛型岛屿,岛屿最高海拔为250公尺处的一座佛教寺庙。岛上植被多属于低海拔热带植物。该岛有两座主要的村落:小珊瑚村以及克洛克梅克罕村。该岛海岸有简易型港口,提供小珊瑚岛往返春武里府陆地的船班。芭达雅有许多小型旅行社提供小珊瑚岛的套装行程,其主要活动为浮潜以及到岛上野餐。自芭达亚至小珊瑚岛的船只航程约为40分钟,每日提供将近12小时的运航服务(07:00-19:00)。

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