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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种，既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料，并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起，而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动（通常是以相反的方向转），但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去，从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能，从而能够提高集成度。

化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。

氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

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重庆市规划展览馆（Chongqing Planning Exhibition Gallery）是一个位于重庆市的规划展示馆。

2005年10月建成开馆，位于重庆市渝中区朝东路1号，紧邻朝天门和重庆来福士广场，隶属于重庆市规划局。总建筑面积6万平方米。2006年被选为国家4A级旅游景区。2020年计划从朝天门广场搬迁至南岸区南滨路的弹子石广场。2022年位于重庆市南岸区南滨路131号的新馆正式落成开放。

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徐成功（10月21日），原名徐德，曾用名徐兴智，男，河南偃师杨义沟人，中国人民解放军开国大校、成都军区副司令员。

1965年8月从沈阳军区第五十军副军长兼参谋长调到沈阳军区新组建的援越抗美工程兵五支队任支队长。1968年10月任沈阳军区装甲兵司令员。1972年9月-1975年8月、1978年7月-1980年12月任成都军区司令部参谋长。1980年12月-1982年10月任成都军区副司令员。

荣获二级独立自由勋章、二级解放勋章和独立功勋荣誉章。

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