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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。
在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。
因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。
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* 大学城片区(东至南方科技大学,南至学苑大道、留仙大道,西至平山一路,丽山路、西丽湖路,北至动物园、丽水路、学苑大道、深圳大学西丽校区、南方科技大学,面积4.48平方公里)
* 石壁龙片区(东至沙河西路,南至白芒收费站,西至二级水源保护区,北至南山区边界线,面积2.24平方公里)
* 东、北至深惠边界,南至田头山,西至高压走廊及出口加工区,面积51.6平方公里
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张子仁,字安甫,号澄斋,直隶常州府无锡县人,民籍,明朝政治人物。
应天府乡试第五十一名举人。嘉靖三十八年(1559年)中式己未科会试第八十五名,二甲第七十一名进士。历官湖广按察司佥事,隆庆三年(1569年)七月升四川布政司右参议,万历二年(1574年)十一月降为山东佥事,三年五月调任浙江,兵备嘉湖,升本省右参议,八年正月升广西副使,十年二月改补浙江副使,十三年六月升贵州参政。
《万历野获编》记载张子仁任职浙江时,秉公惩治前吏部尚书吴鹏舍人不法之事。
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