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系统神经科学是神经科学和系统生物学的一个分支学科，主要研究神经回路和神经系统的结构和功能。 系统神经科学的研究关注神经细胞在连接在一起组成神经通路、神经回路和大规模脑网络时的行为，并在这个层面上研究不同的神经回路如何分析感觉信息，形成对外部世界的感知，然后做出决定并最终执行运动。系统神经科学的研究人员通过学习分子和细胞之间的关系来了解大脑结构和功能，以及对高级心理功能如语言、记忆和自我意识（这些是行为和认知神经科学的范畴）进行研究。系统神经科学家用于研究神经元网络的技术包括电生理学的单电极记录和多电极记录、功能磁共振成像（fMRI）和PET扫描。
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林瑞生（英文名：Lim Swee Say， ），籍贯汕头市潮阳，新加坡总理公署部长，2007年接任职总秘书长。1954年7月13日在新加坡出生，1973年荣获新加坡武装部队奖学金赴英国罗浮堡大学深造。1991年获美国斯坦福大学管理硕士学位。
70 年代，担任新加坡全国电脑局首席执行官和主席并成功发展新加坡尖端信息科技。90 年代，被任命新加坡经济发展局首席执行官。1996年当选为国会议员，后在2001年 及2006年的大选中继续当选。 1999 年任新加坡贸工部政务部长兼新闻、通讯及艺术政务部长。2000 年被任命代环境部长。 2001 年，他被升任环境部长。2004 年8月，李显龙总理任命他为总理公署部长兼第二国家发展部长。2005年辞去第二国家发展部长职位。林瑞生育有一个儿子和一个女儿。
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CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。
20世纪70年代，多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中，此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用，并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧，由此引发的一系列问题（如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限）严重影响了大规模集成电路（LSI）的发展。针对这一问题，业界先后开发了多种平坦化技术，主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等，但效果并不理想。80年代末，IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化，其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善，从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。
化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种，既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料，并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起，而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动（通常是以相反的方向转），但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去，从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能，从而能够提高集成度。
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