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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。
化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。
氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
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《JUJU的点歌本》(原名:Request),日本女歌手JUJU的翻唱专辑。2010年9月29日发行。
JUJU的首张翻唱专辑。起初是因为JUJU翻唱My Little Lover的名曲《Hello, Again ~在以前的某处~》(详见Hello, Again ~在以前的某处~ (JUJU单曲))获得了绝佳的反响,于是在官方网站上由歌迷决定将要翻唱的歌曲组成「JUJU的点歌本」。
翻唱了1990年代中后期至2000年代前期日本12首女声名曲,除了My Little Lover之外,还包括DREAMS COME TRUE、安室奈美惠、椎名林檎、宇多田光等重量级歌手的作品。此外,专辑的完成度极高也被认为是成功的重要因素。
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野原柚花的秘密动画版使用体验
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施瓦岑贝格运河博物馆(Muzeum Schwarzenberského plavebního kanálu)是位于捷克南波希米亚州村庄Chvalšiny的一个展览设施,展示施瓦岑贝格运河的历史、由当地勘测员罗森奥尔(Josef Rosenauer)建造。 参观博物馆的游客还可以了解罗森奥尔的生平,也可以了解当地人的特点和生活方式。
在1999/2000年之交,欧洲联盟为博物馆的建立提供了财政支助,捐赠了288970欧元。
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