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更新于 2026-10-24

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本节讨论通常用于集成电路的CVD工艺。不同的材料会应用于不同的环境。

多晶硅是从硅烷(SiH4)沉积所得到的。使用以下反应:

这种反应通常使用低压化学气相沉积系统(LPCVD),使用单纯的硅烷或用70-80%的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间,压力为25~150帕斯卡的条件下,沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度,所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。

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* 红旗河 (扬州市):位于中华人民共和国江苏省扬州市的一条河道,北连通扬运河,南通长江。

* 红旗河 (上海市):位于中华人民共和国上海市金山区的一条河道。

* 红旗河 (邵水):位于中华人民共和国湖南省邵阳市,是邵水右岸支流。

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生于美国加州旧金山市,作家,曾先后获得埃德加奖(1961年《笼中人》)、雨果奖(1963年《龙主》、1966年《最后的城堡》)、星云奖(1966年《最后的城堡》)、1975年的土星奖、1984年和1990年的世界奇幻奖,以及1996年的科幻协会大师奖等大奖。

知名桌上角色扮演游戏《龙与地下城》(Dungeons & Dragons)的设定受其影响很大,灰鹰世界中的一大主神取名维克那(Vecna)即为了纪念万斯(Vance)。此外,龙与地下城的法术系统也被称为万斯式魔法(Vancian magic),以需要学习、准备、记忆且有限的施放次数为特色。之后在,2018年,由Monte Cook出品的桌上角色扮演游戏系统《隐日》,也向其致敬,其中一个结社便取名为Order of the Vance,系统上也属于万斯式魔法。

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