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化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。

氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

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* 望月博士：佐佐木功 /香港配音: 刘昭文

* プロデューサー：渡辺繁、久保聡、堀长文、角田朝雄

* 助监督：古庄淳一、柏渕亘、黒木浩介、松田康洋

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海湾公园道车站（Bay Parkway station），又称「22大道车站」（22nd Avenue station），是纽约地铁BMT海滩线的一个慢车地铁站，位于布鲁克林海湾公园道及西七街，设有N线（任何时候停站）、W线（仅繁忙时段停站）列车服务。

此切土车站在1915年6月22日启用，设有页个侧式月台和四条轨道，但两条中央快车轨道正常情况下使用。往康尼岛方向轨道与路线切断了，而往曼哈顿方向轨道使用了双向信号。

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