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更新于 2026-10-27

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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。

化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。

氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

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* 1904年(明治37年)4月1日:日本铁道开设此货物车站。

* 1906年(明治39年)11月1日:路线国有化。

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圣贝尼迪托德隆托(San Benedetto del Tronto)为义大利马凯大区的一个城市,拥有亚得里亚海最大的港口之一。

圣贝尼迪托德隆托是罗马皇帝戴克里先统治时期的基督教烈士,埋葬于此地区。西元313年君士坦丁颁发诏书之后,一些信徒在他的坟墓周围建造了一座小教堂。从此,圣贝尼迪托一直受到当地人的尊敬。

第一份表明村庄名称的文件可追溯至998年。该文件包含短语「Pede sive terra et silva Sancti Benedicti」。

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