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陆光熙，本名惠熙，字亮臣，顺天府宛平县人，本籍浙江省萧山县。清末翰林、官员。

陆光熙之父陆钟琦为光绪十五年（1889年）进士，官至山西巡抚。陆光熙于光绪三十年（1904年）考中甲辰科三甲第六十二名进士。选庶吉士。游学日本，毕业于陆军士官学校，回国获授编修，擢为侍讲。

辛亥革命爆发后，其父陆钟琦准备拼死对抗革命，光熙特从北京赶赴山西。不久当地民军起事，攻打巡抚衙署，父子皆遇难。清廷追赠三品京堂，谥文节。

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靶形成负电极，基板形成带正电电极。通过使用（例如，作为稀有气体的原子碰撞电离氩气）形成在一个气体空间的等离子体（氩低压等离子体），带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件，或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射，直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时，通过动量传递从目标喷射粒子，该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积（沉积）。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料，将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电，因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程，因为随后的离子将被电击穿。另外，可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低，因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外，还存在诸如直流三极管溅射的其他形式，其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式，等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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巴尔汰河，位于中华人民共和国内蒙古自治区东部的一条河流，是查干木伦河右岸支流，河名在蒙古语中意为“有老虎的地方”。巴尔汰河发源于克什克腾旗同兴镇以北的圆蛋山，蜿蜒向东流过天合园村后进入林西县，经林西县的统部镇和新林镇，于五十家子镇九连庄村（原兴隆庄乡）汇入查干木伦河。河流全长69.2千米，流域面积1324平方千米，河道平均比降8.5‰，年均径流量0.298亿立方米。巴尔汰河上游在克旗境内两岸山高林密，分布有天然次生林和经济林。中下游在林西县境内两岸主要为耕地，是内蒙古小麦的主产区之一。

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